HOME>제품소개>크린룸장비 Type HHCL-A HHCL-B HHCL-C HHCL-D A 900 1,200 1,500 2,000 Type HHCL-A HHCL-B HHCL-C HHCL-D Air Velocity(m/s) 토출구 하부 100mm에서 0.3m/sec± 10% Air Volume(CMM) 6 8 10 13.3 Vibration(μm) X,Y,Z축 <3 Filter Efficiency(%) 0.3μm DOP 99.97% over or 0.1μm 99.999 over. 선택 Power 3Ø x 380 x 220V x 50/60Hz Power & Consumption(W) 200W

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